新產(chǎn)品(AOI)/AI網(wǎng)版檢修機

功能與特點

-專為微電子網(wǎng)版開發(fā)，AOI缺陷自動偵測
-高強度機身結(jié)構(gòu)及超高精度線軌，重複定位精度<4μm，掃描穩(wěn)定
-採用進口高解析度工業(yè)相機2.4μm位元，且可按需求定製
-快速影像處理系統(tǒng)，100sec/0.04㎡/2.36μm (依據(jù)解析度)
-AI智慧學(xué)習(xí)功能，依據(jù)客戶標(biāo)準(zhǔn)逐步降低漏檢、誤檢
≥5um或者10um以上的缺陷漏檢率：≤1%
 (未知缺陷不做考評)
假點誤判率：單次檢測的假點總數(shù)目大於100個的概率事件≤20%
-三種模式檢驗：CAM資料對比+AI深度學(xué)習(xí)+盲檢演算法
-檢修一體，鐳射定位，缺陷圖像自動對焦放大，實現(xiàn)邊檢邊修，並可搭配多臺線上網(wǎng)版返修機，資料互聯(lián)，實現(xiàn)檢修分離，高效作業(yè)
-遠端升級，實現(xiàn)遠端及時服務(wù)回應(yīng)